信息產業和數字經濟的快速發展，為半導體產業提供持續強勁的市場需求，全球半導體產業迎來快速發展的黃金十年，中國半導體產業的成長率尤其亮眼。但是我們也清醒地認識到，中國半導體產業水平相對業界先進地區仍然有較大的差距，尤其是半導體設備。為提升中國半導體產業水平，促進半導體產業的技術交流與合作，中國半導體行業協會主辦系列半導體產業及技術專題網絡研討會。3月30日第一期研討會以業界關心的半導體設備為主題，深圳市埃芯半導體科技有限公司協辦，舉行了半導體晶圓制造前道量測技術網絡研討會，會上產業專家和領袖分享了半導體產業發展觀點和把脈技術發展方向。
研討會由中國半導體行業協會執行秘書長靳陽葆主持，特邀嘉賓SEMI（國際半導體產業協會）全球副總裁、中國區總裁居龍先生，主講嘉賓深圳市埃芯半導體科技有限公司董事長兼CEO張雪娜博士，研討嘉賓中科院微電子所集成電路先導工藝研發中心首席科學家朱慧瓏博士和中國半導體行業協會專家委員會委員、副總工程師余山博士參加了研討。埃芯半導體CEO張雪娜博士做了”創新協同，面向未來的半導體量測技術“主題演講。
在半導體制造業高速發展的背景下，晶圓制造加工過程中的量測和檢測技術及設備，成為工藝進步和制造工藝質量控制的重要保障，圍繞半導體制造質量管理相關的量測和檢測技術也成為國內實現技術創新的焦點。本次研討聚焦半導體制造前道量測和檢測技術發展及其在制造工藝中應用的技術挑戰，以及未來的技術發展方向。
居龍
SEMI全球副總裁
中國區總裁
居龍先生對全球半導體產業的現狀和產業鏈重組做了分析，半導體產業處在一個快速增長的超級周期，缺芯，缺產能，設備交期延長，人才短缺，設備市場增長也處在一個高點，去年全球半導體設備銷售額超過了1000億美元，實現了44%的增長。其中半導體前道設備市場增長為890億美元，達到了過去10年創記錄的新高，預估今年的半導體前道設備市場將成長12%，突破1000億美元。 關于全球半導體制造Capex投資增長, 中國大陸在2021年的投資增長排名全球第一，根據目前預測，2022年臺灣地區或韓國的投資增長會相對比較領先，臺積電投資達到近400億美元，三星將會達到360億美元，國際和國內市場都會有顯著的增長，為半導體設備行業帶來了巨大的機會。居龍先生同時分析了美國、韓國、歐盟、日本等國對于半導體產業鏈的打造計劃，包括美國政府剛剛通過的520億美元競爭法案，根據預測未來10年美國會增加19座Fab，包括Intel和臺積電等，另外歐洲也增加了430億歐元芯片投資法案。在過去幾十年，整個產業鏈從美國、歐洲，日本、臺灣地區到中國大陸，經過了全球化的分工，已經形成了一個完整的產業鏈。但是，現在產業鏈在被逐步打亂，半導體的發展已經提高到了產業安全，甚至國家安全的高度，產業鏈的重整已經不可避免，局部脫鉤是當前的趨勢，但是，全球化整體趨勢的大格局應該不會改變，因為沒有任何一個國家可以獨立打造全產業鏈，要開放包容，深化集成電路產業和軟件產業的全球合作，同時還要加強核心技術的研發。居龍先生對國內半導體產業的發展保持樂觀，國內市場的增長也會給國內半導體設備公司帶來快速成長的機會，在中國也出現了像埃芯半導體這樣的創新創業半導體設備公司。
張雪娜
埃芯半導體CEO
深圳市埃芯半導體科技有限公司CEO張雪娜博士作為主講嘉賓發表了以《創新協同，面向未來的半導體量測技術》為主題的精彩演講。張博士從半導體產業整體增長談起，未來十年是半導體行業的黃金10年，整個半導體行業產值將會達到1萬億美金，半導體設備市場已經達到千億美金以上，中國半導體是最大的消費市場，晶圓制造卻嚴重依賴海外晶圓廠，中國大陸的晶圓制造產能只有大概6%左右的占比；另外中國大陸也是最大的半導體設備市場，占全球設備市場的18.7%左右，但是半導體設備采購還是嚴重依賴國外設備，尤其是美國設備，國內半導體設備市場占比只有7%，其中前道量測設備國產化程度更低，只有不到2%的占比。
半導體量檢測設備是半導體晶圓制造工廠的關鍵工序，量檢測設備會應用到晶圓生產的每一道制程工藝，作為半導體晶圓制造的“眼睛”，對晶圓制造良率控制和提升起到至關重要的作用，量檢測設備占整個半導體前道設備市場的10%左右。
量測解決方案對晶圓工廠的研發，爬坡，量產等不同階段有不同側重點，對設備的參數也有不同要求，半導體前道量測在晶圓制造中有膜厚，關鍵尺寸，材料分析，overlay量測等主要應用場景，在不同的應用場景中，技術關注點也各有差異，并且隨著節點進步，工藝演進，材料升級等技術變化對量測方案也提出了更多的挑戰，同時隨著計算機技術的進步,大數據、AI以及machine learning也成為提升量測能力的重要解決方案之一。
埃芯半導體以物理學原理為基礎結合先進的自動化裝備技術，自主研發了互補性的光學量測和X-ray前道量測協同解決方案，為客戶創造獨特價值，幫助客戶在更短的時間內達到更高的良率，為實現高端量測設備的國產替代，以及開發行業創新性的設備而持續努力。
半導體設備研發是一個比較硬核的產業，需要結合非常強的物理學原理，同時也需要諸多精密儀器，器件以及自動化，零部件廠商同步努力和協助，也需要很多愿意犧牲，愿意付出以及具有情懷的優秀人才，躬身入局，持續努力，共同推動國產半導體設備行業的進步，實現國產替代，開發擁有自有知識產權，創新型的產品，推動國產半導體設備行業的健康發展。
朱慧瓏
中科院微電子所集成電路先導工藝研發中心首席科學家
朱慧瓏博士結合他長期國內外的半導體行業的先進工作經驗，提出了很多中肯建議，中國半導體要取得進步，必須要認真態度，長期堅持。長期但不認真，產生不了先進；認真但不長期，積累沒有價值；Know-how技術要注重細節，不能指望彎道超車，知識產權要關注重點，超前布局；在知識產權中儲備特點，在市場競爭中賽出先進。同時朱博士還分析了FinFET和Nano Sheet FET等先進晶體管及其制造工藝在量測技術方面的主要需求和相關難點。
余山
中國半導體行業協會專家委員會委員、副總工程師
余山博士擁有多年半導體晶圓制造產線工作經驗，他從集成電路制造角度分析了量測和檢測設備應用范圍和技術難點，余博士認為檢測和量測設備是半導體設備最難的領域之一，因為它涉及的知識面非常廣，工程化非常困難，比如半導體光學設備領域，國產化率非常低，包括光刻和量檢測設備。同時半導體制造技術節點在持續進步，技術實現更加困難，新材料的應用范圍也越來越廣，量檢測設備的應用領域也會越來越廣泛，對測量的精度，吞吐量，以及算法，大數據等技術方面都提出了更高的挑戰，另外很多量測設備的波長需求也會越來越短，比如埃芯半導體開發的短波長X射線設備會越來越有市場應用前景，挑戰和機遇并存，國產量測和檢測設備領域具有廣闊的發展前景。
本次研討會圓滿舉行，埃芯半導體和行業大咖，技術專家，線上聽眾進行了深入的討論和交流，引起了行業的廣泛關注。埃芯半導體會堅持創新，深耕半導體量檢測市場，為中國半導體設備行業健康發展提供助力。 更多內容請關注中國半導體行業協會公眾號的視頻回放。
