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X射線晶圓污染量測設備
?thena Fulfillment? 系列
晶圓表面各類污染、沾污、金屬污染將導致器件的失效，埃芯自主研發的全反射X射線熒光(TXRF)測量技術為晶圓加工提供了快速、準確的表晶圓表面污染檢測手段。
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