X射線薄膜量測設備
?thena Xcellence? T系列

?thena Xcellence? T系列X射線薄膜量測系統(Fast XRR & GIXRF)采用自由組合式的快速X射線反射技術(XRR)及X射線熒光技術GIXRF, XRF(掠入射角或常規入射角)，可以對應先進或成熟制程薄膜、超薄膜，包括復雜多層結構的量測，提供精確快速的各類金屬薄膜、金屬化合物，以及部分輕元素，例如P薄膜的成分、膜厚、密度、粗糙度等多種薄膜特性參數量測?？梢詰獙ogic、SDRAM或高深寬比的先進3D NAND制程。