埃芯自主研發的High Yield?系列產品采用穆勒矩陣和反射式光譜混合技術，可以量測薄膜的厚度、光學常數(折射率n、消光系數k等)、能帶寬度、缺陷等膜層參數，具備多層堆疊等復雜結構的量測能力。此系統適用于材料能隙監控、工藝開發及在線工藝監控、工程分析、工藝設備匹配等復雜應用。