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X射線衍射量測設備
?thena Xcellence? D系列
埃芯自主研發的?thena Xcellence? D系列快速X射線衍射(XRD)量測設備，提供對各類Epi材料晶格結構及膜厚的分析手段，此系統適用于工藝開發、材料應力工程開發、設備監控，工藝設備匹配等復雜應用。
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